满级富婆潇洒九零 第1160(2/3)
黄博士的目光从照明看到主动减震系统——所有精密设备都放置在上面。因为纳米级的对准精度不能受任何外界振动的干扰。
否则以她的个性,在这能撑过三天不发疯,都是她进化了。
可以说,江副主任会是他今后在政府巨大的人脉。
对,就是天地玄黄的那个玄黄。为什么叫玄黄呢?因为玄黄的意思就是天地。
郑教授摇头:“不,没人授权给我们,我们自己做的。老底子是45所的技术,后来又有德国工程师和日本工程师的加盟。”
做光刻机确实很难,他今天来这一趟,倒不是说对国产光刻机有多足的信心,而是纯粹给江副主任面子。
人家是砸了真金白银在做光刻机的。
但如果直接叫天地的话,感觉总少了那么一层意思。
以正常的技术发展路径,他的专业告诉他,纯国产机应该达不到这个水平。
王潇不知道二三十年后的光刻机到底长什么样子,也许她在网上看过图片,但她真的不记得了。
工程师暗自深吸一口气,在背景风机声中,将一片覆盖有光刻胶的8英寸硅片送入那他们的玄黄。
五年时间,集团前后总共砸进去了六亿美金,好不容易熬出来的金蛋名曰玄黄。
曝光后的硅片被送入一旁的离线检测设备——测量电子显微镜。
伊万也支持这个想法,因为他感觉这充满了玄幻武侠神秘主义的色彩,非常符合他的理想主义审美。
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他既然准备在上海创业,那肯定要跟地方政府打好关系。
没有炫目的灯光,也没有振奋人心的声响,只有控制台上跳动的数据和状态灯,显示激光正在冰冷而忙碌地工作。
看到这儿,他暗自松了口气,起码他面对的不是一个草台班子。
她只知道1999年,花费了大把真金白银,以及包括了五国工程师无数心血的光刻机是个大家伙,长4米,宽3米。
所以光刻机厂把名字放在老板面前时,王潇毫不犹豫地勾选了玄黄。
黄博士犹豫了一下,还是选择了追问:“你们用的是谁家的技术授权?”
他原本以为,国产的光刻机起码要落后两到三个代际的。
“经过测量,我们当前套刻精度已经达到了180纳米。这意味着我们已经成功集成了对准系统,并实现了基本的功能。”
所以,即便没什么指望,他依然把今天的时间空出来,全当陪太子读书。
看完了生产区域,该技术演示了。
结果没想到还读出了一个惊喜来。
显微镜图像被实时投射到观察室的屏幕上。图像清晰显示出一排排线条均匀、边缘锐利、间距为035微米的电路图案。
江副主任跟他一样,有海外留洋经历,是少见的懂专业技术的官员,他天然能够跟他们技术出身的人打成一片。
黄有伦博士一直聚精会神地看着,到最后才问了一句:“180纳米?”
只有这样的生产环境,才能让他相信,他们有可能真的可以生产出光刻机。
甚至一公里外卡车经过产生的震动,也要被减震系统消弭掉。
对对对,它确实落后了国际先进技术一个代际,但也只是一个代际而已啊。
光刻厂的总工郑教授点头:“我们也知道,1995年,日本尼康公司用了248n波长的氟化氪准分子激光器作为光刻机光源后,制程节点就推进到180—130n。现在尼康、佳能、asl已经能实现差不多70纳米的水平。跟人家比起来,我们还有很长的路要走。下一步,我们准备通过优化算法、提升机械稳定性,将指标推进到100纳米的门槛。”