满级富婆潇洒九零 第1160(2/3)

    黄博士的目光从照明看到主动减震系统——所有精密设备都放置在上面。因为纳米级的对准精度不能受任何外界振动的干扰。

    否则以她的个性,在这能撑过三天不发疯,都是她进化了。

    可以说,江副主任会是他今后在政府巨大的人脉。

    对,就是天地玄黄的那个玄黄。为什么叫玄黄呢?因为玄黄的意思就是天地。

    郑教授摇头:“不,没人授权给我们,我们自己做的。老底子是45所的技术,后来又有德国工程师和日本工程师的加盟。”

    做光刻机确实很难,他今天来这一趟,倒不是说对国产光刻机有多足的信心,而是纯粹给江副主任面子。

    人家是砸了真金白银在做光刻机的。

    但如果直接叫天地的话,感觉总少了那么一层意思。

    以正常的技术发展路径,他的专业告诉他,纯国产机应该达不到这个水平。

    王潇不知道二三十年后的光刻机到底长什么样子,也许她在网上看过图片,但她真的不记得了。

    工程师暗自深吸一口气,在背景风机声中,将一片覆盖有光刻胶的8英寸硅片送入那他们的玄黄。

    五年时间,集团前后总共砸进去了六亿美金,好不容易熬出来的金蛋名曰玄黄。

    曝光后的硅片被送入一旁的离线检测设备——测量电子显微镜。

    伊万也支持这个想法,因为他感觉这充满了玄幻武侠神秘主义的色彩,非常符合他的理想主义审美。

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    他既然准备在上海创业,那肯定要跟地方政府打好关系。

    没有炫目的灯光,也没有振奋人心的声响,只有控制台上跳动的数据和状态灯,显示激光正在冰冷而忙碌地工作。

    看到这儿,他暗自松了口气,起码他面对的不是一个草台班子。

    她只知道1999年,花费了大把真金白银,以及包括了五国工程师无数心血的光刻机是个大家伙,长4米,宽3米。

    所以光刻机厂把名字放在老板面前时,王潇毫不犹豫地勾选了玄黄。

    黄博士犹豫了一下,还是选择了追问:“你们用的是谁家的技术授权?”

    他原本以为,国产的光刻机起码要落后两到三个代际的。

    “经过测量,我们当前套刻精度已经达到了180纳米。这意味着我们已经成功集成了对准系统,并实现了基本的功能。”

    所以,即便没什么指望,他依然把今天的时间空出来,全当陪太子读书。

    看完了生产区域,该技术演示了。

    结果没想到还读出了一个惊喜来。

    显微镜图像被实时投射到观察室的屏幕上。图像清晰显示出一排排线条均匀、边缘锐利、间距为035微米的电路图案。

    江副主任跟他一样,有海外留洋经历,是少见的懂专业技术的官员,他天然能够跟他们技术出身的人打成一片。

    黄有伦博士一直聚精会神地看着,到最后才问了一句:“180纳米?”

    只有这样的生产环境,才能让他相信,他们有可能真的可以生产出光刻机。

    甚至一公里外卡车经过产生的震动,也要被减震系统消弭掉。

    对对对,它确实落后了国际先进技术一个代际,但也只是一个代际而已啊。

    光刻厂的总工郑教授点头:“我们也知道,1995年,日本尼康公司用了248n波长的氟化氪准分子激光器作为光刻机光源后,制程节点就推进到180—130n。现在尼康、佳能、asl已经能实现差不多70纳米的水平。跟人家比起来,我们还有很长的路要走。下一步,我们准备通过优化算法、提升机械稳定性,将指标推进到100纳米的门槛。”


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